擴(kuò)散硅壓力變送器是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,傳感器的電阻值發(fā)生變化,用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
擴(kuò)散硅壓力變送器的產(chǎn)品特點(diǎn):
1、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好。除進(jìn)口原裝傳感器已用激光修正外,還對(duì)整機(jī)在使用溫度范圍內(nèi)的綜合性溫度漂移、非線性進(jìn)行精細(xì)地補(bǔ)償,因此在使用溫度范圍內(nèi)非線性小,溫度穩(wěn)定性好。
2、可靠的機(jī)械保護(hù)IP65和防爆保護(hù)iaⅡCT5,可用于各種惡劣環(huán)境。
3、可用于測(cè)量粘稠、結(jié)晶和腐蝕性介質(zhì)。
4、4~20mADC標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出,二線制工作,帶負(fù)載抗干擾能力強(qiáng)。
5、體積小、重量輕,安裝、調(diào)試、維護(hù)、使用方便。
6、選用高品質(zhì)的傳感器和專(zhuān)用V/I集成電路,外圍器件少,可靠性高,維護(hù)簡(jiǎn)單輕松。
7、HART智能通訊,性能更加*。
8、適合狹小空間安裝。
擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)優(yōu)勢(shì):
1.采用的超高純度單晶硅材質(zhì),其材質(zhì)特性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于市場(chǎng)上現(xiàn)有的復(fù)合硅、擴(kuò)散硅芯片;
2.設(shè)計(jì)結(jié)合優(yōu)化了硅壓阻和硅諧振技術(shù),實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定、低溫度影響、超高耐壓等優(yōu)異性能。
3.壓力傳感器內(nèi)集成快速高可靠性溫度采集模塊(雙參數(shù)),為下一級(jí)溫度補(bǔ)償提供高可靠性、高重復(fù)性的參變量。